无锡网站建设

    MEMS公共技术平台由无锡微纳产业发展有限公司、中国物联网研究发展中心、无锡华润上华半导体有限公司、中科院上海微系统与信息技术研究所、中科院微电子研究所等多家单位共同建设。 平台以核心技术突破、产业集聚、人才集聚、支撑物联网产业发展及应用示范为目标，将分别建设MEMS设计服务子平台、MEMS工艺试验线、MEMS测试服务子平台。

    MEMS设计与制造公共技术平台从完善MEMS传感器产业链的角度出发，依托华润上华十余年半导体经验和规模制造能力，通过物联网研究发展中心的桥梁纽带作用，建设国内首条与CMOS工艺线和MEMS规模制造线无缝对接的MEMS研发生产和测试平台，在无锡形成国内首个具备设计、加工和测试服务能力的较为完备的MEMS公共技术平台，在传感网国际创新园集聚一批具有自主知识产权的MEMS传感器研发机构和企业。

组织与团队

MEMS公共技术平台现有员工50余人，研究员3人，副高级12人；博士11人，海归3人。

领军人物：

欧文-智能传感器工程中心主任

现任智能集成传感器工程中主任，负责MEMS设计服务平台建设和封装测试平台建设。曾任中科院微电子所硅器件与集成电路研究室副研究员，研究员，华润上华微电子研发工程师，项目经理。负责国家973项目非挥发性存储器与逻辑电路兼容关键工艺技术研究，九五攻关项目0.35um 集成电路关键技术研究和0.1um级CMOS器件和性能研究”等重大国家级项目的研究工作。

颜苑-智能传感器工程中心副主任

华美信息存储协会副会长、2011年美国硅谷高创会秘书长。曾任职于英特尔、希捷、日立和中芯国际等公司。在半导体、数据存储、MRAM、传感器以及MEMS领域拥有超过15年的专业经验，包括先进的光刻技术，新工艺与技术开发、集成，材料特性及质量验证等。拥有丰富的团队领导经验，具备项目和人员管理，客户与供应商衔接以及处理各种复杂问题的能力。